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捷锐U53系列高纯减压器

U53系列减压器适用于高纯气体应用，采用内部无螺纹、非焊接膜片结构。膜片和阀体的密封采用了硬密封的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命。结构特点 316L不锈钢母体

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产品详情

U53系列减压器适用于高纯气体应用，采用内部无螺纹、非焊接膜片结构。膜片和阀体的密封采用

了硬密封的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命。

结构特点

316L不锈钢母体

膜片式硬密封，泄漏率低

可采用面板安装和后座安装

压力表标准连接：1/4"FRS(M),可选1/4"FRS(F)

内部电解抛光

专为高纯净应用生产制造

高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业

使用寿命长

100%氦气测试

材质

母体：316L,Hastelloy®

阀座：PCTFE

膜片：Elgiloy®,Hastelloy

上盖：316,Hastelloy®

功能特性

流量：Cv=0.054

母体泄漏率：2×10

-8atmcc/secHe

阀座泄漏率：4×10

-8atmcc/secHe

设计验证压力：最大额定压力的150%

设计爆破压力：最大额定压力的400%

工作条件

最大的入口压力：300psi(20bar)

出口压力：0~30psi(2bar)

温度：-18℃~60℃(0°F~140°F)

流道表面

标准：Ra20µin

内部容积

9.3cc

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