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减压器汇流排

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捷锐U53系列高纯减压器

U53系列减压器适用于高纯气体应用,采用内部无螺纹、非焊接膜片结构。膜片和阀体的密封采用 了硬密封的设计,降低泄漏率,同时提高了安全性和使用寿命。 结构特点 316L不锈钢母体

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产品详情

    U53系列减压器适用于高纯气体应用,采用内部无螺纹、非焊接膜片结构。膜片和阀体的密封采用
    了硬密封的设计,降低泄漏率,同时提高了安全性和使用寿命。
    结构特点
    316L不锈钢母体
    膜片式硬密封,泄漏率低
    可采用面板安装和后座安装
    压力表标准连接:1/4"FRS(M),可选1/4"FRS(F)
    内部电解抛光
    专为高纯净应用生产制造
    高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业
    使用寿命长
    100%氦气测试
    材质
    母体:316L,Hastelloy®
    阀座:PCTFE
    膜片:Elgiloy®,Hastelloy
    上盖:316,Hastelloy®
    功能特性
    流量:Cv=0.054
    母体泄漏率:2×10
    -8atmcc/secHe
    阀座泄漏率:4×10
    -8atmcc/secHe
    设计验证压力:最大额定压力的150%
    设计爆破压力:最大额定压力的400%
    工作条件
    最大的入口压力:300psi(20bar)
    出口压力:0~30psi(2bar)
    温度:-18℃~60℃(0°F~140°F)
    流道表面
    标准:Ra20µin
    内部容积
    9.3cc